上海新昇半导体有限公司定期维护

上海新昇半导体有限公司,是我国8寸以上硅片大型生产企业，也是半导体行业知名上市公司，上海新昇

于2016年购入我司定制3D超景深显微镜，用于硅片MARK点深度的生产工艺检测，在今年的年度巡检

中，技术人员对其进行了常规维护，目前，该设备使用正常，精度符合生产要求，以下是具体测试图

                                         MARK点深度测试1                                                                  

 MARK点深度测试2

 MARK点深度测试3